電子光學(xué)儀器

由電子光學(xué)系統(tǒng)和其他機(jī)電系統(tǒng)構(gòu)成的，應(yīng)用電子光學(xué)原理達(dá)到觀察、分析等目的的儀器。是一種直接觀察研究物質(zhì)微觀形貌，成份和結(jié)構(gòu)與其宏觀性能（功能）之間關(guān)系的一類大型精密儀器。在材料科學(xué)、納米科學(xué)技術(shù)、生命科學(xué)技術(shù)、物理、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、微電子學(xué)、半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路制造等科技領(lǐng)域以及臨床診斷、刑事偵破、考古和工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中得到了廣泛的應(yīng)用。